EUV光刻機意想不到的用途！竟能應用於生物醫學

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是刻机直徑僅有幾納米的微小孔洞，在生物傳感領域，意想用于医学在300毫米晶圓上實現了固態納米孔的途竟晶圓級製造。始終無法實現大規模生產。生物但過往受限於製造變異性大和集成困難，刻机

所謂納米孔，意想用于医学

imec的途竟突破在於利用EUV技術確保了孔徑的高度一致性，蛋白質或 DNA）會對電流產生獨特的生物信號，

更重要的刻机是，EUV光刻技術一直被主要用於打造最強大的意想用于医学邏輯與存儲芯片。納米孔的途竟作用如同“分子檢查站”。

imec研發項目經理Ashesh Ray Chaudhuri表示，生物

當離子電流流過孔洞時，刻机目前孔徑已精確縮小至約10納米，意想用于医学其精細程度約為人類頭發絲的途竟萬分之一，未來更有望通過工藝改進突破5納米。結構和電荷。通過其中的分子（如病毒、這種方法與CMOS兼容，

12月22日消息，

這項進展被ASML公關負責人譽為“意想不到且出色的生物醫學應用”。將原本用於芯片製造的EUV基礎設施應用於生命科學，已經為高通量生物傳感器陣列打開了大門。意味著生物傳感器可以像生產芯片一樣在300毫米晶圓上大規模製造。

不過比利時微電子研究中心（IMEC）近日首次成功利用ASML的EUV光刻設備，

雖然納米孔在基因組學和蛋白質組學中具有巨大潛力，長期以來，高靈敏度地辨別分子的尺寸、科學家可以根據這些獨特的電信號，